日本ata Gimble 多涂機 AT-903涂層示例分析
涂層示例
◆ 萬向節效果
在萬向機操作下，在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
（見下圖，濾紙表面SEM照片）。
放大倍率 x 50,000 倍
云臺運動視頻
◆ 與其他公司的顆粒性能比較（樣品：載玻片放大倍數：×100,000）
（其他公司）
(ATA)
◆ 涂膜顆粒度差異示例（AFM 圖像）
膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜
膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜
可以看出，Cr非晶膜和鉑再結晶膜形成良好。
頭型（可選）
1頭型
2頭型
清潔（可選）
清潔機制
特征
全向擺動（萬向運動）載物臺使涂層具有良好的環繞性。
*干燥的排氣可防止樣品污染（渦輪分子泵+隔膜泵）
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、W 等。目標類型可以是used
特殊的快門功能可抑制對樣品的熱損傷。
可以選擇 1 或 2 頭的數量。
<選項>
等離子清洗（主機選件）可去除有機異物并進行表面親水化處理，
碳涂層附件（選件）可用于形成碳膜（目前正在建設中）。
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